通过高能电子束和样品相互作用之后的透射电子束以及X射线等信号获取样品的形貌、结构和成分信息。

具有衍衬成像、高分辨成像、Z衬度成像、电子衍射、能谱分析和三维重构等多种功能，属于分析型透射电子显微镜，可实现对材料显微形貌、晶体结构、纳米颗粒大小形态、界面结构和微区成分等的表征分析。广泛应用于高分子材料、纳米材料、生物学、化学、物理学、地质学、半导体材料等领域的科学研究，是研究各种材料的超显微结构与性能关系所不可缺少的大型精密仪器