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聚焦离子束扫描电子显微镜
Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope，FIB-SEM
产地国别:
仪器分类:电子光学仪器
联系人:徐老师
联系方式:0571-61121018
邮箱:bmllbzzx@zjenergy.com.cn
品牌
赛默飞 Helios 5 CX
仪器原理
聚焦离子束扫描电子显微镜拥有离子和电子两种源，所以又被称为双束电镜。其电子束可以对样品进行表面微观形貌表征，而离子束则可以对样品进行微观加工。
仪器功能
能够对样品的指定区域进行微纳结构加工、TEM样品定点制备、结构分析、材料表征、三维切片和重构等，还可以利用刻蚀或沉积实现预先设计的图形或结构。
